華海清科表示,12英寸超精密晶圓減薄機是業內首次實現12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機整合集成設備。Versatile-GP300量產機臺進入大生產線,填補了國內芯片裝備行業在超精密減薄技術領域的空白。
當前,得益于國產替代預期加持,國內半導體設備廠商即使在行業低迷的環境下,依然一枝獨秀。各大廠商的營收和訂單量都出現大幅增長,研發進展也陸續傳來佳音。
例如,萬業企業曾在互動平臺上表示,嘉芯半導體預計2025年將成為達到年產2450臺8吋和12吋主制程及支撐制程設備的研發制造基地,并透露公司旗下凱世通的離子注入機訂單均為集成電路離子注入機。
2022年,至純科技新增訂單42.19億元,同比增長30.62%,其12英寸爐管設備正在研發制造,即將進入客戶驗證階段;8英寸涂膠顯影設備已交付客戶驗證,12英寸涂膠顯影設備尚處在專利檢索及技術評估階段。
盛美上海也在2022年獲得了大量批量訂單,并成功將立式爐管ALD設備推向國內的兩家關鍵客戶;順利向國內客戶交付前道ArF工藝涂膠顯影Track設備,并將于2023年推出i-line型號設備,已開始著手研發KrF設備。而自2023年以來,盛美上海已經獲得了來自歐洲一家全球性半導體制造商以及中國領先的碳化硅襯底制造商的設備訂單。
而中微公司的南昌生產和研發基地已基本建成完工,部分生產潔凈室于2022年7月投入試生產;其位于上海臨港的生產和研發基地預計2023年將部分投入使用
此外,芯米半導體首臺自研自創幻影12英寸光刻工藝涂膠顯影設備XM300已成功交付國內一線客戶;北京爍科中科信碳化硅離子注入機順利交付等都為半導體設備廠商的發展進一步增加了動力。
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